Китай запустил производство иммерсионных DUV‑литографов

Китай через государственную компанию Shanghai Aishengna приступил к серийному выпуску иммерсионных DUV‑литографов. По имеющимся данным, в 2026 году ожидается поставка примерно пяти установок, в 2027‑м — около двадцати. Первые получатели систем названы как SMIC, Hua Hong Semiconductor и ChangXin Memory Technologies.

После обнародования информации акции нидерландской компании ASML на торгах в США внутри дня падали более чем на 8% и закрылись с понижением около 5,8%.

Аналитики указывают, что поставка первых машин не равна готовности к непрерывной коммерческой эксплуатации. Главная техническая задача — обеспечить стабильную работу оборудования круглосуточно в течение длительных периодов. Для этого требуются проверенная аппаратная платформа, отлаженные программы обслуживания, налаженная логистика запчастей и опытные инженеры для пуска и ремонта.

Китайские фабрики уже используют DUV‑технологии: импортные установки применяются для производства по 28‑нм техпроцессу в один проход и для приближения к 7 нм с помощью многократного нанесения рисунка. Системы EUV, которые нужны для более тонких техпроцессов, остаются под экспортными запретами, и доступ к ним ограничен.

В DGA‑Albright Stonebridge Group предупредили не переоценивать ранние отчёты о локальном производстве и отметили, что создание устойчивой экосистемы оборудования требует времени. Аналитик Jefferies указал, что предыдущие сообщения о прогрессе в литографии иногда не подтверждались на практике и что требуется проверка характеристик и надёжности первых машин.

Эксперты также обращают внимание на организационный фактор: если бы разработкой преимущественно занимались частные компании, темпы могли бы отличаться. В настоящее время проект ведут преимущественно государственные структуры, которые продолжают зависеть от импортного оборудования и сервисной поддержки зарубежных инженеров.

Рассматривают и влияние ограничений на экспорт и техническое обслуживание со стороны США и других стран. В парламентских обсуждениях фигурирует законопроект, предусматривающий ужесточение запретов на продажу и поддержку ключевых литографических систем; его принятие означало бы дополнительные ограничения на сервис и могло бы стимулировать локальные разработки, полагают аналитики.

Фон: мировую индустрию литографии в значительной мере определяет одна нидерландская компания, поставляющая как иммерсионные DUV‑установки, так и EUV‑системы. Ограничения на экспорт передового оборудования усилили внимание инвесторов и отрасли к локальным инициативам Китая.